纳米材料与制备11.pdfVIP

1.2 扫描电子显微镜(SEM) 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显 微镜不同，它是利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描， 与样品相互作用产行各种物理信号与样品相互作用产行各种物理信号，这些信号经检测器这些信号经检测器 接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反 映样品表面各种特征的图像。 配制能谱仪的话，利用所产生的特征X射线还可以对试 样进行定性和定量化学成分分析样进行定性和定量化学成分分析。 11.22.11 电子束与样品的相互作用电子束与样品的相互作用 11.22.22 扫描电镜的构造与原理扫描电镜的构造与原理 1.2.3 扫描电镜的样品制备 1.2.4 扫描电镜分析实例 1.2.1 电子束与样品的相互作用 当高能电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品 间的相互作用间的相互作用，9999 ％％以上的入射电子能量将转变成热能以上的入射电子能量将转变成热能， 其余约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用 的信息的信息，它们包括它们包括：二次电子次电子、背散射电子背散射电子、透射电子透射电子、 特征X射线、俄歇电子等信号。 SEMSEM主要利用其中的二次电子和背散射电子主要利用其中的二次电子和背散射电子 ①二次电子是指被入射电子轰击出来并离开样品表面的