电子探针显微分析 课件.pptVIP

一、探针微区分析的定义 电子探针分析就是利用电子轰击待研究的试样来产生X射线，根据X射线中谱线的波长和强度鉴别存在的元素并算出其含量。 定性分析：用X射线谱仪在有关谱线可能出现的波长范围内把谱线纪录下来。然后对照波长表。 定量分析：把试样的X射线强度与标样的对比，并作一些校正就可以算出分析点上的成分含量。 1. 显微结构分析 2. 元素分析范围广 3. 定量分析准确度高 4. 不损坏试样、分析速度快 5. 微区离子迁移研究 二、电子探针的发展历史及发展趋势 1931－1949年，电子探针分析的基本原理的提出和第一台电子探针样机的产生； 1958 年才把第一台电子探针装进了国际镍公司的研究室； 1959年第一台扫描型电子探针仪问世； 二、电子探针的发展历史及发展趋势 1960年扫描型电子探针商品问世，70 年代开始，电子探针和扫描电镜的功能组合为一体，同时应用电子计算机控制分析过程和进行数据处理； 八十年代后期，电子探针又具有彩色图像处理和图像分析功能，计算机容量扩大，使分析速度和数据处理时间缩短，提高了仪器利用率，增加了新的功能。 三、电子探针显微分析的基础 1、特征X射线谱： X射线谱是由于原子的内层电子能级之间跃迁产生的，为了使这种跃迁成为可能，必须逐出一个能层电子以产生一个空位。在电子探针分析中，所需要的内层能级电离是靠有足够动能的电子的轰击产生的。