纳米多层膜的研究进展.pdfVIP

第 1 卷 　第 1 期 材 料 研 究 与 应 用 Vo 1 1 , No 1 2 0 0 7 年 3 月 MA T ER IAL S R ESEA RC H AND A P PL ICA TION Mar 2 0 0 7 ( ) 文章编号 2007 0 1000 110 纳米多层膜的研究进展 肖　晓　玲 (广州有色金属研究院材料表面工程中心 , 广东 广州 　5 10651) 摘 　要 : 综述了纳米多层膜的研究进展 ,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类 、制备方法及结构和成 分的检测手段 ,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景. 关键词 : 纳米多层膜 ; 调制波长 ; 硬度 ; 内应力 中图分类号 : TB43 　　　　　　文献标识码 : A 近十年来 ,随