传感器及应用 第11章 半导体传感器.pptVIP

第九章　 半导体传感器 半导体传感器 气敏传感器 湿敏传感器 色敏传感器 气敏传感器 用途：主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。 材料：气敏电阻的材料是金属氧化物半导体（分P型如氧化锡和N型如氧化钴），合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 气敏传感器工作原理 敏感材料的功函数吸附分子的电子亲和力--?吸附分子从材料中夺取电子（负离子吸附、氧化型气体），敏感材料的载流子减少-? 　　，如　、 敏感材料的功函数吸附分子的离解能--?吸附分子向材料释放电子（正离子吸附、还原型气体），敏感材料的载流子增加-? 　　，如　、 为提高气体灵敏度，一般需加热以加快氧化还原反应（到200～450℃）,同时加热还能使附着在测控部分上的油雾、尘埃烧掉。 气敏传感器类型及结构 电阻型半导体气敏传感器 由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳 烧结型、薄膜型、厚膜型 非电阻型半导体传感器 MOS二极管气敏器件 MOS场效应晶体管气敏器件 湿敏传感器 绝对湿度和相对湿度 绝对湿度：一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位g/m3，一般用符号AH表示。 相对湿度：气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。 在实际使用中多使用相对湿度这个概念。 氯化锂湿敏电阻 原理：材料吸湿潮解或干化（能互逆），使器件的电阻率发生变化。 氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定温湿场中, 若环境相对湿度高, 溶液将吸收水分， 使浓度降低, 因此, 其溶液电阻率增高。 反之, 环境相对湿度变低时, 则溶液浓度升高, 其电阻率下降 半导体陶瓷湿敏电阻 用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成的多孔陶瓷。 导电机理：类似气敏电阻 一般有两种： 负特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随温度增加而下降 　水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。对于P型半导体，将吸引更多的空穴到达其表面，使其表面层的电阻下降。对于N型半导体？…… 正特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随温度增加而增大 　　当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时，导致其表面层电子浓度下降，但…… 色敏传感器 色敏传感器是光敏传感器的一种。光敏器件一般检测的都是在一定波长范围内光的强度，而半导体色敏传感器则可用来直接测量从可见光到近红外波段内单色辐射的波长。 半导体色敏传感器工作原理 半导体色敏传感器的基本特征 光谱特性 短路电流比－波长特性 温度特性 　为什么不能用（二极管的）光谱特性（光生伏特效应），而用二级对管的短路电流比测量单色光的波长？ 　　1.消除光强的影响。2.温度影响（得到补偿） 磁敏传感器（补） 磁阻电阻 工作原理：半导体在磁场作用下有霍尔效应，电阻也会变化 电阻率的相对变化：　　　　　其中 　是电子迁移率 磁阻二极管 工作原理：利用洛伦兹力的作用 二极管的结构特点：P-I-N结构，其中本征区I的长度较长。本征区的两个侧面一个制成光面、一个制成毛面。在毛面电子---空穴对易复合消失、电流小。在光面电子---空穴对不易复合消失、电流大。可测量磁场的大小和方向。 特点：测量灵敏度高（比霍尔元件高几百倍）、能判定的方向。 半导体传感器的应用（1） 半导体传感器的应用（2） 热电式传感器（补） 热电偶 热电阻 集成温度传感器 热电偶传感器 热电偶工作原理 热电现象：两种不同材料导线在连接处形成节，如将这两个节分别置于不同的温度下（T0和T1），便会在回路中形成电流。 热电势分为接触电势和温差电势 接触电势：不同材料电子浓度不同，在节点处发生扩散导致电势 　　设：导体A、B的电子浓度分别为NA、NB，则： 　　　　　　　　　　　　　其中：K为波尔兹曼常数 　　　　　　　　　　　　　　　　T为结点所处温度 　　若NA NB ，则eAB(T)0,反之亦然。故：电子浓度高的材料电位高。 温差电势：同一种金属导体，由于二头的温度不同，电子从高温段向低温段扩散，高温处带正电。 　　　　　　　　　　　　σA与T0、T有关，汤姆逊系数，表示导体两端单位温度差时产生的电势 。 　　若TT0，则eAB(T)0，反之亦然。 热电偶传感器 接触电势与温差电势的性质 回路总电势 　讨论： ①热电偶的材料相同时，EAB(T,T0)=0 　　　　②热电偶的两个节点所处的温度相同时 ， EAB(T,T0)=0 　所以形成热电势的两个必要条件： 　　　　①两种导体的材料不同②节点所处的温度不同　 热电偶传感器 热电偶基本定