电子束纳米加工技术研究现状.pdfVIP

1998 年 微　细　加　工　技　术 №. 2 第 2 期 M icro fab r icat ion T echno logy 1998 电子束纳米加工技术研究现状 卢维美 ( 中国科学院电工研究所, 北京 100080) 　　【摘要】　纳米科学技术是 80 年代后期发展起来面向2 1 世纪的高新技术, 纳米 加工技术是制造量子微结构的主导技术。电子束纳米加工推动着微细加工技术的研 究向着分子、原子量级的纳米层次发展。本文重点介绍电子束纳米曝光技术的研究现 状及发展前景。 关键词: 纳米技术; 电子束曝光技术; 研究现状 1　概　述 随着微电子技术的发展和应用市场的开发, 对集成电路要求的集成密度越来越高, 电路 设计尺寸不断缩小, 从微米级到亚微米级深入到分子、原子量级的纳米级。预计在 2000 年 0. 25