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- 2019-11-03 发布于江苏
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薄膜与测试技术
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薄膜与表面分析技术介绍
【摘要】固体的表面状态，对于材料的性能，有着极其重要的影响。因此要求从微观的，甚至是原子和分子的尺度去认识表面现象。鉴于此种重要运用，本文将介绍电子探针显微分析、AES、XPS、SIMS、SNMS、ISS、卢瑟福反向散射光谱法等七种常用技术的原理。并了解这些表面分析技术在薄膜材料中的应用，以便更好地从事技术工作。
【关键词】表面分析技术 电子探针 能谱分析
目录
1 绪论
2 表面分析技术
2.1 俄歇电子能谱分析（AES）
2.1.1 方法原理
2.1.2 俄歇谱仪
2.2 X射线光电子光谱法（XPS）
2.2.1 基本原理?
2.2.2 电子能谱法的特点
2.2.3 仪器组成
2.3 次级离子质谱法（SIMS）
2.3.1 原理及应用
2.3.2 分类
2.3.3 特点
2.4 离子散射光谱法（ISS）
2.4.1 基本原理
2.4.2 ISS谱仪
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