微机电元件之电弹性质研究现况介绍ReviewontheStudiesofElectro.pdf

微機電元件微機電元件之電彈性質研究現況之電彈性質研究現況介紹介紹 微機電元件微機電元件之之電彈性質研究現況電彈性質研究現況介紹介紹 Review on the Studies of Electro-mechanics for MEMS Devices 莊婉君 台灣大學應用力學研究所 博士生 胡毓忠 華梵大學機電工程學 系 副教授兼系主 摘要摘要 摘要摘要 靜電式驅動的微機電元件通常包含機電 、光電、熱電、電磁等許多能量域 的耦合 ，由於元件工作時是非線性的，在分析上格外複雜。本文針對靜電式驅動 的微機電元件其準靜態吸附電壓物理模型 、動態特性分析、空氣阻尼效應、可靠 度、數值模擬方法與應用做逐一介紹 。 一一.前言前言 一一 前言前言 微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System ；簡稱MEMS) 意指元件尺寸或 作動範圍在微米等級的微型機電整合系統 。微機電系統元件的製造方式與傳統機 械加工製造不同 ，是利用與積體電路相容的半導體製程，包含面型矽微加工技術 (Surface micromachining)與體型矽微加工技術(Bulk micromachining) ，由於製程技 術日趨成熟 ，目前已經可以做出許多複雜的微結構與功能元件，因而更進一步朝 向最佳化元件性能方向發展 。而靜電式驅動的微機電元件有反應速度快、低損耗 功率與積體電路(integrated circuit)標準製程相容等優點 ，因此現有的微機電元件 中有許多是靜電式驅動的微結構 ，如電容式壓力感測器(capacitive pressure sensors)[1] 、梳狀致動器(comb drivers)[2] 、微幫浦結構(micro pumps)[3] 、印表機 噴墨頭(inkjet printer head)[4] 、射頻開關(RF switches)[5] 、真空式共振器(vacuumed resonators)[6] 等等 。 對於靜電式驅動元件而言 ，結構變形會導致兩電極之間距或重疊面積改 變，使得靜電力亦隨之改變 ，而靜電力之改變又會影響結構之變形，因此成為一 非線性的機電耦合(electrical-mechanical coupling) 系統 ，在分析上必須考量非理想 邊界(non-ideal boundary) 、非均質結構、空氣阻尼效應(air damping) 、結構預變形、 三維雜散電場(fringing field) 等，是一個相當複雜的問題 ，如圖1所示 。因此承受 靜電力作用下微結構的電彈性質(eletromechanics)一直是許多研究的探討主題 ， 其相關研究包含 ：元件作動時的不穩定性(instability)[7-10] ，驅動時與元件變形 的相互關係[11-14] ，電極形狀與位置對元件特性的影響[15-17] ，動態響應與最佳 化[18, 19] ，利用套裝模擬軟體(如ANSYS, ABAQUS, COULOMB, MEMCAD system) 分析元件的動態行 為[20-23] ，與元件的損壞機制 、材料選擇與可靠度 (reliability)分析等[7, 24-30] 。 若不能深入瞭解元件作動時的不穩定性 、非線性行為 、破壞機制與可靠度 等因素對元件的影響 ，便無法進一步改 良元件性能而達到最佳化的目的 。因此， 本文將在下面章節針對微機電元件其準靜態(quasi-static)吸附電壓(pull-in voltage) 物理模型 、動態特性分析、空氣阻尼效應、可靠度、數值模擬方法與應用 等議題 作探討與分析 。 結構與靜電耦合之非線性系統 非均質結構 結構預變形 三維雜散電場 非理想邊界條件