原创力文档- 0
- 0
- 约2.23万字
- 约 7页
- 2019-11-30 发布于天津
- 举报
第卷第期年月物理学报一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构虞益挺苑伟政乔大勇梁庆西北工业大学微纳米系统实验室西安年月日收到年月日收到修改稿提出了一种利用临界屈曲法在线测量微机械薄膜残余应力的新结构并采用表面微加工技术制作了两种测试样品搭建了在线观测实验装置来实时监控释放过程中结构出现的临界屈曲变形模态由此判断出结构内部的应力状态同时在测得临界刻蚀深度的情况下采用有限元方法计算出残余应力大小借助有限元方法先研究了多个参数对临界屈曲应力的影响然后利用这种新结构对薄膜残余应力进行了实际测量所得结果与微
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
0* $% %%# $% ， ， ，
MN: )0* 1N ) $% ODNPBQ %%#
（ ）
$%%%4+(%%%#0* $% 0*($4%# 6-36 IJK
文档评论（0）