半导体器件建模与优化系统.pdf

第 卷第 期 半 导 体 学 报 ∂ 年 月 ≤∞≥∞ƒ≥∞≤⁄≤×≥ 半导体器件建模与优化系统 谢晓锋 鲁 勇 李 钊 阮 骏 姚 依 张文俊 杨之廉 清华大学微电子学研究所 北京 摘要 随着器件尺寸的缩小 器件特性空间变得越来越复杂 如果仍采用手工参数调整的方法 不仅需要有较好的 器件物理知识 而且也不一定能得到合适的结果 为节约设计时间 对半导体器件建模与优化系统