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8 家研究機構儀器設備及使用收費標準
壹、財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室 南區辦公室(台南園區 )
委託代工
自行操作
使用費
機台編號 設備名稱 開機費 (元
開機費 使用費 /次) 學界 業界
(元/次) (元/分) (元/分) (元時/ )
電漿輔助式化學氣相沈積
SE-001 感應耦合式蝕刻系統 0 50 1,000 58 6,000
(PECVDICP)
SE-002 反應式離子蝕刻系統 (STS) 0 17 0 42 5,500
SE-003 金屬濺鍍系統(Sputter) 0 22 0 38 2,800
金屬薄膜電阻量測儀(M-
SE-004 0 34 1,000 50 3,080
gauge)
四點探針電阻量測(four 0.1
SE-005 0 0 不開放委託操作
point probe) 元/秒
SE-006 電子顯微鏡 (SEM) 0 19 0 40 2,500
0.3 1,500
SE-007 薄膜測厚儀(nk analyzer) 0 0 1,500
元/秒 元時/
濕式蝕刻清洗系統
SE-008 0 20 0 54 3,500
(Wetbench)
自動化光阻塗佈及顯影系統
SE-009 0 35 20,000 46 11,500
(Track)
光罩對準曝光系統(Mask
SE-010 0 50 20,000 50 14,000
aligner)
SE-011 射頻濺渡機 (RF Sputter) 0 13
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