材料研究方法电子显微分析.pptx

第四章 电子显微分析;电子显微分析是材料科学的重要分析方法之一，它与其它的形貌、结构、成分分析方法相比具有如下特点： 在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、结构、选择分析区域； 是一种微区分析方法，具有高的分辨率，成像分辨率达到0.2-0.3nm； 同时进行形貌、物相、晶体结构和化学组成的综合分析;电子显微分析;§1 电子显微镜光学基础;分辨本领有限;I; 分辨率：显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。 以物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。 光学透镜分辨本领：;;染色后的洋葱表皮细胞 ;用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不可能的; 电子显微镜的照明光源是电子射线。与可见光相似，运动的电子也具有波、粒二象性。 De　Broglie公式： De　Broglie 波： 加速电子的动能与 电场加速电压的关系为：;加速电压较低时;三、电磁透镜的像差和理论???辨本领 ;1、球差;P;;2、轴上像散（像散）;由于这种像散发生在轴上，因此也称为轴上像散。像散将影响电镜的分辨能力，一般电镜中都有消像散器，可以把像散校正到容许的程度。;3、色差;引起电子能量变化的主要原因为 电子与物质相互作用后，电子能量受到损失。 电子加速电压不稳定，引起电子束能量的波动。;4、电磁透镜的分辨本领;四、电磁透镜的场深和焦深;焦深是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，像平面可沿透镜轴向移动的距离。