精品课程 IC原理 第3章 集成电路中的无源元件.pptVIP

第3章 集成电路中的无源元件 3.1 集成电阻器 3.1.1 基区扩散电阻 3.1.2 其他常用的集成电阻器 3.1.3 MOS集成电路中常用的电阻 3.2 集成电容器 3.2.1 双极集成电路中常用的集成电容器 3.2.2 MOS集成电路中常用的MOS电容器 3.3 互连(内连线) 3.3.1 金属膜互连 3.3.2 扩散区连线 3.3.3 多晶硅连线 3.3.4 交叉连线 3.1 集成电阻器 电阻是基本的元件，在集成工艺技术中有多种设计与制造电阻的方法，根据阻值和精度的要求可以选择不同的电阻结构和形状。 集成电路中的电阻分为无源电阻和有源电阻。无源电阻通常是采用掺杂半导体或合金材料制作的电阻，而有源电阻则是将晶体管进行适当的连接和偏置，利用晶体管在不同的工作区所表现出来的不同的电阻特性来做电阻 3.1.1 基区扩散电阻 众所周知，掺杂半导体具有电阻特性，不同的掺杂浓度具有不同的电阻率，正是利用掺杂半导体所具有的电阻特性，可以制造电路所需的电阻器。 所谓扩散电阻是指采用热扩散掺杂的方式构造而成的电阻。这是最常用的电阻之一，工艺简单且兼容性好，缺点是精度稍差。 制造扩散电阻的掺杂可以是工艺中的任何热扩散掺杂过程，可以