线照明并行谱域光学相干层析成像系统与缺陷检测应用研究.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 19 (2014) 194201 线照明并行谱域光学相干层析成像系统 与缺陷检测应用研究 赵晨 陈志彦 丁志华 李鹏 沈毅 倪秧 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 光电信息工程学系, 杭州 310027) ( 2014 年3 月11 日收到; 2014 年6 月4 日收到修改稿) 针对玻璃缺陷在线无损检测的迫切需求, 本文报道了一种基于线照明并行谱域光学相干层析成像系统的 大视场检测系统. 该系统采用快速面阵CMOS 相机, 单次拍摄即可获取完整的横截面(B-scan) 图像. 基于线 照明面阵探测器的并行谱域光学相干层析成像系统, 可以同时获取沿线照明方向各位置处的深度分辨信息, 避免了横向扫描机构的应用. 研制系统的轴向分辨率为17.9 m, 并行方向上的横向分辨率55.7 m, 扫描方 向上的横向分辨率为24.8 m, 轴向扫描速率为