2.1 应变式传感器 2.1.1 工作原理 导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时,其电阻值相应发生变化,这种现象称为“应变效应”。 当电阻丝受到拉力F作用时,将伸长?l,横截面积相应减小?A,电阻率因材料晶格发生变形等因素影响而改变了d?,从而引起电阻值相对变化量为 dl?/?l为长度相对变化量即应变? 式中:?——电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反。 通常,把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏系数。其表达式为 灵敏系数K受两个因素影响: 应变片受力后材料几何尺寸的变化,1+2?; 应变片受力后材料的电阻率发生的变化,即(d??/?)/?。 对金属材料来说,电阻丝灵敏度系数表达式中1+2?的值要比(d??/?)/?大得多,而半导体材料的(d??/?)/?项的值比1+2?大得多。 半导体材料,当某一轴向受外力作用时,其电阻率?发生变化的现象。 d??/?为半导体应变片的电阻率相对变化量,其值与半导体敏感元件在轴向所受的应变力有关,其关系为 上式中:?——半导体材料的压阻系数; ?——半导体材料的所受应变力;E——半导体材料的弹性模量;?——半导体材料的应变。 半导体应变片的灵敏系数为 半导体应
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