装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响.pdfVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 47 2 Vol.47No.2 年 月 2018 2 Februar2018 ACTAPHOTONICASINICA y : / doi10.3788 zx0212004 g 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响 1 1 2 1 1 1 , , , , , 赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫