精密和超精密加工的机床设备技术.ppt

Precisionandultraprecisionmachining ;3.1 精密和超精密机床发展概况及典型机床简介 3.2 精密主轴部件 3.3 床身和精密导轨部件 3.4 进给驱动系统 3.5 微量进给装置 3.6 机床运动部件位移的激光在线检测系 3.7 机床的稳定性和减振隔振 3.8 减少变形和恒温控制;第1节 精密和超精密机床发展概况及典型机床简介;2019/11/15;二、典型机床简介;二、典型机床简介;二、典型机床简介;二、典型机床简介;2019/11/15;二、典型机床简介;2019/11/15;二、典型机床简介;二、典型机床简介;三、精密超精密机床类型和精度指标;高???度：静态和动态精度，主要部件的材料，轴承，工作台和刀架，微进给（电致伸缩、磁致伸缩，弹性元件等），闭环控制系统 高刚度：受力变形对加工精度影响 高稳定性：热导率低，热膨胀系数小的材料做工作台、床身等基础零件，液体淋浴或空气淋浴控制温度 抗振性：材料，隔离振源，缩短传动链或改用柔性连接 控制性能好：数控 模块化设计;第2节 精密主轴部件;主轴轴承;（一）、滑动轴承的分类;根据润滑膜的形成原理不同分为：;径向轴承（向心轴承）;（二）、液体静压轴承工作原理; （1）轴承内圆柱面上，等间隙地开有几个 油腔（通常为4个）。 （2）各油腔之间开有回油槽。 （3）用过的油一部分从这