第讲薄膜的表面界面和尺寸效应.pptVIP

（2）薄膜的界面 界面两边物质的成份或者结构不同，界面处的原子排列情况和电子结构也不同于体内。显然，薄膜界面的结构往往对薄膜本身的结构有显著的影响。并且，界面通常是杂质、缺陷的富集区。 薄膜的界面是通过材料接触形成的。在界面处存在着两个材料（同质或异质材料）之间的原子交换，即相互之间的扩散。这种扩散改变着相互间的结构和性质。 12.3.1 表面态和表面空间电荷层 ① 表面原子结构 12.3 薄膜的表面和界面 ② 表面态 ③表面空间电荷层 12.3.2 表面势垒 12.3.3 界面结构和界面特性、电接触 ① 界面结构 ②界面特性 ③ 电接触 12.3.1 表面态和表面空间电荷层 ① 表面原子结构 未被污染的清洁表面 在表面上存在台阶， 垂直表面方向（Z轴方向）上产生表面弛豫 在平行表面方向上发生重构 不清洁的表面 表面吸附单层的有序排列 生成表面化合物 表面偏析 图12.5 几种表面结构的示意图 在薄膜晶体的表面，晶格电子的势能在垂直表面方向上也不再存在平移对称性，这样电子波函数沿着垂直表面方向作指数衰减，处于这种状态的电子将定域在表面层中，称为表面态 ② 表面态 图12.6 硅的共价键示意图 表面态的产生原因，除了晶格在表面的突然终止外，还有表面结构的缺陷和杂质，以及表面吸附外来原子