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第六章 位移及速度检测 第6章 位移及速度检测 位移及速度是描述物体运动的量，可将其称为运动量。 运动量是最基本的量，运动量测量是最基本、最常见的测量，它是许多物理量，如力、压力、振动等测量的前提。 6.1 电感式传感器与位移检测 电感式传感器是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化，导致线圈电感量改变来实现测量的。 电感式传感器的工作基础：电磁感应 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 电感式传感器亦可称为自感式传感器或可变磁阻式传感器。 传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 在铁芯和衔铁之间有气隙，传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时，气隙厚度δ发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 线圈中的电感为： 根据磁路欧姆定律： 合并两式可得： 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 上式中, Rm为磁路总磁阻。气隙很小，可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 将以上各式联立，即得到： 上式表明：当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或S0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积S0的传感器。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 电感式传感器的分类： 6.1.2 电感式传感器的输出特性 一、变气隙型电感传感器 6.1.2 电感式传感器的输出特性 分析： 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为 当衔铁上移Δδ时，传感器气隙减小Δδ，即δ=δ0-Δδ， 则此时输出电感为 6.1.2 电感式传感器的输出特性 当Δδ/δ01时，进行台劳级数展开 可求得电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式，即 6.1.2 电感式传感器的输出特性 同理，当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时，有： 6.1.2 电感式传感器的输出特性 对上列等式作线性处理，即忽略高次项后，可得： 灵敏度为： 6.1.2 电感式传感器的输出特性 结论： 变气隙型自感式传感器的灵敏度较高； 但其非线性严重，自由行程小，制造装配困难。 适用于测量微小位移场合。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 二、变截面型电感传感器 保持磁导率μ和气隙长度l固定不变，只改变气隙有效截面积S，即以气隙长度S作为传感器的输入量，可以制成变截面型自感式传感器，常用于角位移的测量。其结构原理如图所示。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 6.1.2 电感式传感器的输出特性 变截面型自感式传感器其转换关系是线性的；同时，其灵敏度K为常数。 可见，变面积式传感器在忽略气隙磁通边缘效应的条件下，输出特性呈线性，因此可得到较大的线性范围。与变气隙式相比较，其灵敏度较低。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 三、螺管式电感传感器 磁场分布不均匀，理论上分析较困难； 由实验可知输出为非线性关系，且灵敏度较低； 测量范围广； 结构简单，装配容易，且螺管可做得较长，故宜于测量较大的位移。 6.1.3 差动电感传感器原理 为了提高测量的灵敏度，减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。 6.1.3 差动电感传感器原理 当衔铁向上移动时，线圈总的电感变化量ΔL 对上式进行线性处理，即忽略高次项得 6.1.3 差动电感传感器原理 灵敏度K为 从上列各式可以得到： 差动变间隙式自感传感器的灵敏度是单线圈式传感器的两倍。 单线圈是忽略 以上高次项，差动式是忽略 以上高次项，因此差动式自感式传感器线性度得到明显改善。 6.1.3 差动电感传感器原理 电感式传感器与其它传感器相比，具有以下特点： 结构简单，工作可靠，测量力小； 分辨率高，能测量0.1μm甚至更小的机械位移，能感受0.1角秒的微小角位移； 重复性好，线性度高。在一定位移范围内，输出线性度可达±0.1%，且比较稳定。 其主要缺点是存在零点残余电压，灵敏度、线性度和测量范围相互制约，传感器自身频率响应低，不适用于快速动态测量。 6.2 差动变压器 把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的，并且次级绕组用差动形式连接，故称差动变压器式传感器。 6.2 差动变压器 差动变压器结构形式：变隙式、变面积式和螺线管式等。 在非电量测量中， 应用最多的是螺线管式差动变压器， 它可以测量1～100mm机械位移，并具有测量精度高、灵敏度高、 结构简单、性能可靠