谐振式传感器振动特性测试系统.doc

谐振式传感器振动特性测试系统 蔡晨光,樊尚春 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京　100083 摘要:采用激光测振仪测量振动元件表面的幅值。用于检测谐振式传感器振型的测试系统,主要由计算机、激励信号源、激光测振仪、数据采集卡组成。计算机控制激励信号源产生与被测谐振式传感器一个模态所对应的固有频率相一致的激励信号,激励被测谐振式传感器,使之处于受迫振动状态,计算机通过数据采集卡控制激光测振仪对被测谐振式传感器的振动元件进行空间扫描,测出被测谐振式传感器振动元件表面各点的振动信号,通过数据采集卡将激励信号和激光测振仪测出 ,,解算并绘制出被测谐振 。 关键词:谐振式传感器;谐振频率;模态;振型 中图分类号:TH825.6;TP212.1　文献标识码:A　文章编号:167124776(200707/0820174202 Vibration Characteristics Measure System for R esonant Sensors CA I Chen2guang,FAN Shang2chun (S chool of I nst rument S cienceOptoelect ron Engineering,Bei hang Uni versit y,B ei j ing100083,China Abstract:The laser vibrometer was used to meaure t he vibrating signal.The vibration characte2 ristics measure system was made up of t he co mp uter,signal generator,laser vibrometer and data acquisition card.The signal generator was cont rolled by t he comp uter to provide t he exciting sig2 nal,which frequency was t he same as t he nat ure f requency of t he sensor.The sensor was excited to vibrate wit h it s nat ure f requency.The laser vibrometer was controlled to scan t he vibrating st ruct ure surface,and t he vibration magnit udes were measured and sent to t he comp uter by t he data acquisition card.The vibration shape was gained by calculating and analysing t he vibration signals and t he exciting signals. K ey w ords:reso nant micro sensor;resonant f requency;mode;vibratio n shape 1　引　言 谐振式传感器在被测量时,其敏感元件的谐振频率发生改变,通过测量谐振器的谐振频率即可得到被测量的值。谐振式传感器的重复性、分辨力和稳定性等性能指标优秀,适用于压力、加速度、力、密度等多种参数的测量[125]。在谐振式传感器的研制和生产过程中,传感器敏感元件的各阶振型的测定是一个重要环节。 当敏感元件在一定的模态上到达谐振状态,在对传感器敏感元件的振型进行测试时,首先要使传感器处于一定的振动模态;其次就要测出敏感元件振动面上各点的振幅和相位。 对于敏感元件较大的传感器,例如科里奥利质量流量计,可以采用电容、电磁等传感器来测量其振动信号。但对于振动元件较小的传感器,例如硅微机械谐振式传感器,其结构尺寸在μm级,其振动表面各点的振动信号难以测量,激光测振仪却具备测量这种微小结构尺寸振动信号的能力。 由于激光测振仪具有空间扫描的功能,所以在 收稿日期:2007204206 敏感元件的稳定振动状态下可以测出其振动面上各点的振动信号,从而提供了可以实现测试谐振式传感器的可能。 2　测试系统 测试系统框图如图1所示 。 图1　谐振式传感器振型测试仪结构示意图 谐振式传感器振型测试系统由计算机、激励信号源、激光测振仪、数据采集卡组成。激励信号源通过串行接口与计算机连接,在计算机的控制下产生与被测谐振式传感器模态所对应的固有频率一致的激励信号;激光测振仪测量被测谐振式传感器振动元件的振动信号,该振动信号和激励信号同时通过数据采集卡采集到计算机中