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2019-11-23 发布于未知
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AL2O3沉积用PEALD设备介绍.pdf

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AL2O3沉积用沉积用PEALD设备介绍设备介绍沉积用沉积用设备介绍设备介绍 NMCNMC NMCNMC 1 Confidential 内内容容概概要要内内容容概概要要 1 1 高效高效电电池技池技术术和和研研究究进进展展高效高效电电池技池技术术和和研研究究进进展展 2 2 AL2O3 工工艺艺技技术术介介绍绍工工艺艺技技术术介介绍绍 ALD技技术术介介绍绍 3 技技术术介介绍绍 3 4 4 PEALD设备设备设备设备 2 Confidential 高效电池技术和研究进展高效电池技术和研究进展高效电池技术和研究进展高效电池技术和研究进展 • 高效电池路线：高效电池类型高效电池类型 SE（SE （PERL/PERC/PERTPERL/PERC/PERT））背接触背接触（IBC/MWT/EWT（IBC/MWT/EWT）） N型电池N型电池 HITHIT 高效电池类型高效电池类型 SESE （（PERL/PERC/PERTPERL/PERC/PERT ））背接触背接触（（IBC/MWT/EWTIBC/MWT/EWT）） NN型电池型电池 HITHIT 典型代表典型代表 UNSW,Suntech,CSUN,JAUNSW,Suntech,CSUN,JA SUNPower,ISF,ECN,CSISUNPower,ISF,ECN,CSI Sunpower,YingliSunpower,Yingli SanyoSanyo 典型代表典型代表 UNSW,Suntech,CSUN,JAUNSW,Suntech,CSUN,JA SUNPower,ISF,ECN,CSISUNPower,ISF,ECN,CSI Sunpower,YingliSunpower,Yingli SanyoSanyo 正面采用SE电池通用结构，发射极进行硼掺杂，BSF 工艺温度低，双面制进行双面钝化，背电极通过正面无栅状电极，正负极交进行磷掺杂，并通过结，表面非晶硅层对于特点特点特点特点一些分离很远的小孔贯穿钝叉排列在背面 AL2O3+SiNx的双层结构作光线吸收特性好，钝化化层与衬底接触为钝化减反射效果好电池结构电池结构电池结构电池结构 o x i d