多晶硅工艺生产技术葸国隆.docVIP

多晶硅工艺生产技术 姓名： 葸国隆 日期：2012年12月11日 目 录 \o 1-3 \u 目 录 342980584 \h I 摘 要 342980585 \h 第一章 多晶硅的认识和产品的用途 342980586 \h 1 一、什么是多晶硅 342980587 \h 1 二、什么是半导体 342980588 \h 1 三、纯度表示法 342980589 \h 1 四、多晶硅产品的用途 342980590 \h 1 第二章 多晶硅的生产方法 342980591 \h 2 一、锌还原法（杜邦法） 342980592 \h 2 二、四氯化硅氢还原法（贝尔法） 342980593 \h 2 三、三氯氢硅热分解法（倍西内法） 342980594 \h 3 四、三氯氢硅氢还原法（西门子法） 342980595 \h 3 五、硅烷热分解法 342980596 \h 3 六、改良西门子法 342980597 \h 3 第三章 改良西门子法工艺 342980598 \h 3 一、发展历程 342980599 \h 3 二、改良西门子法归纳起来有三大特点 342980600 \h 4 三、工艺生产化学反应方程式 342980601 \h 4 第四章 多晶硅生产的工艺过程 3429806