真空电容使用寿命.pdf

Plasma Control Technologies Fehler! Verweisquelle konnte nicht gefunden werden./ Page 1 of 6 Service Bulletin-56 真空电容使用寿命 可调真空电容的寿命 尽管COMET可调真空电容使用了最优的材料和最佳的制造工艺，但它的寿命依然受限于调节 容值时必需的活动部件：一个是波纹管；另一个是螺纹和导螺杆的驱动系统，该系统可由与之 关联的电机驱动，从而精细的调节电容的容值。COMET的产品已经发展了几十年，因此基于 不同波纹管和驱动系统的各种设计是可用的或仍在使用。 1. 波纹管的寿命 主要因素是使用的电容值范围以及波纹管本身的设计和类型。“波纹管预期寿命”这张图适用 于所有的半导体电容。X轴表示使用的电容值范围，Y轴表示预期生命周期数。 重要提示：这些曲线仅在电容标称容值内使用时才是有效的。我们不推荐电容在低于最小标称 值的范围内使用，如果电容器被用于在该范围内，寿命会减少。 Expected Bellows Lifetime Uni-Con Series 1000000 s e l c y C 100000 10000 Stroke [%] 50 60 70 80 90 100 Stroke [mm] 9.65 11.6 13.5 15.4 17.4 19.3 图1：Uni-Con系列“波纹管预期寿命” 这些值是以标称容值的中心值为参考点，比如60%行程是指从20%开始到80%结束（或80%行 程是指从10%开始到90%结束）。 不同系列的电容对应的寿命值在第2张表中列出。 例如: CVUN-1000AC/5-BAJA：使用的容值范围 260 – 745pF 数据表中的C 曲线数据： 260pF = 2 圈；745pF = 8 圈 COMET AG Herrengasse 10, CH-3175 Flamatt Original English Version: Issue date: 08-July-2019 Tel. +41 31 744 9000, Replaces: 03-Jan-2017 Plasma Control Technologies Fehler! Verweisquelle konnte nicht gefunden werden./ Page 2 of 6 Service Bulletin-56 (见 5, 6页) - ∆= 6 圈= 54% 的全圈数 (11.1 圈) 波纹管预期寿命： 大约3700k周期 电容的寿命取决于电容系列 Capacitors-Series Expected life cycles Expected life cycles at 80% of nom Crange at 60% of nom Crange Basic-Con 270k 1’300k Uni-Con 400k 2’200k Smart-Con