电镜测试中常用的元素分析方法.pdf

电镜测试中常用的元素分析方法 元素分析在电镜分析中经常使用，随着科学技术的发展，现代分析型电镜通过安装 X 射线能谱、能量过滤器、高角度环形探测器等配件，逐步实现了在多学科领域、纳米尺度下 对样品进行多种信号的测试，从而可以获得更全面的结构以及成分信息。以下是几种现在常 用的电镜中分析元素的方法。 1 X 射线能谱（Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS ） X 射线能谱是微区成分分析最为常用的一种方法，其物理基础是基于样品的特征X 射 线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处 于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具 有一定能量的特征X 射线。 图1 EDS 原理示意图 特征X 射线是从试样0.5~5μm深处发出的，它的波长与原子序数之间满足莫塞莱定律： 1 = 2 ， 是常数 （ − ） 不同的波长对应于不同的原子序数 。根据这个特征能量，即可知所分析的区域存在 什么元素及各元素的含量。根据扫描的方式，EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种： EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。该方法准 确性较高，用于显微结构的成分分析。定量分析样品中含量较低的元素时，常用点分析的方 法。图2 所示为陶瓷样品的EDS 点分析结果。 图2 陶瓷样品的EDS 点分析结果 EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲 线。结合样品形貌像对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况，如图3 中，通过线 扫描可以清楚地看出CdS 和有机物含量沿异质结分布的情况。 图3 无机(CdS)/有机(PPY)异质结线扫描分析结果 EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描，试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表 现出来，常用来做定性分析。亮度越高，元素含量越高，结合形貌像常用于成分偏聚、相分 布的研究中。图4 所示的是有机、无机纳米线的面扫描结果，可以看出C 和Cd 元素的分布 于纳米线的形貌像一致。 图4 无机(CdS)/有机(PPY)异质结面扫描分析结果 2 电子能量损失谱（Electron energy-loss spectroscopy, EELS ） 入射电子穿透样品时，与样品发生非弹性相互作用，电子将损失一部分能量。如果对出 射电子按其损失的能量进行统计计数，便得到电子的能量损失谱。由于非弹性散射电子大都 集中分布在一个顶角很小的圆锥内，适当地放置探头，EELS 的接受效率会很高，相比EDS 分析，EELS 的记谱时间更短，特别是用于小束斑分析薄样品时；另外，EDS 在探测轻元素 （Z ＜11）时只有1%的信号能接收到，且谱线重叠比较严重，而EELS 的能量分辨率（1eV） 远高于EDS （130eV），因此，EELS 在探测轻元素方面更有优势；而且，除了对样品进行定 性和定量的成分分析外， EELS 的精细结构还可提供元素的化学键态、最近邻原子配位等 结构信息，这是其他电子显微分析方法所不能比拟的。 图5 电子能量损失谱EELS 原理 在EELS 谱图中，除了几个电子伏特的化学位移，同一种元素的电离损失峰的能量坐标 总是近似相同的，因此，通过标定电离损失峰的能量坐标，即可定性地分析样品所含的元素。 然后通过测量元素的电离损失峰曲线下扣除背底后的面积，即该元素的电离损失峰的总强度 ，可对该元素的含量进行定量分析。当样品很薄时， 可以近似地表示为： =