传感器第二章01.pptVIP

需粘贴 简单讲 受压缩 * * 第二章 电阻式传感器 把物理量（位移、力、振动）转化为电阻值变化的一类传感器。 金属应变片式 半导体压阻式：新型的传感器，医学常用 复习： 在一定的应力范围（弹性形变）内， 材料的应力与应变量成正比， 它们的比例常数称为弹性模量或弹性系数。 第一节 金属应变片传感器 当我们用力将该电阻丝拉长时，会发现其阻值略有增加 （图中增加到为10.05?）。 小实验 电阻应变动画 据欧姆定律： 设有一根长为L、截面积为A、电阻率为p 的金属丝 一、工作原理 L D L+ dL D-dD F 图 金属丝应变效应 半导体压阻传感器是否主要受第二项？？ 金属 右边第一项：形变直接引起电阻的变化，尺寸效应 右边第二项：应力使电阻率变化引起电阻的变化，压阻效应 金属应变片电阻变化： 金属应变计 （一）应变片的结构 二、应变片的结构及种类 应变计材料：康铜和卡玛合金 黏合剂：聚酰亚胺。 （二）应变片的种类 金属箔式应变片 金属箔式应变片 短接式应变片 金属丝式应变片 分为丝式应变计（wire strain gauge)和箔式应变计(foil strain gauge) 两种，箔式常用。 三、金属应变片的参数及主要特性 （一） 应变片灵敏度系数 金属应变片的电阻相对变化与单位形变之比即 K为金属应变片的灵敏系数。 注意， 是试件在灵敏轴方向的应变， 使用时应变片的轴向与主应力方向一致，测量结果表明，应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数K0。原因：胶层传递变形失真，横向效应也是一个不可忽视的因素。 （二） 横向效应 因弯折处应变的变化使灵敏系数减小的现象称之为应变片的横向效应。 短接能大大消除横向效应 直角横栅、箔式应变计 如何减小横向效应 在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%）时的 最大真实应变值。 （三） 应变极限 ε真 真实应变ε真 指示应变ε指 图 应变片的应变极限 100% 90% 加载特性与卸载特性不一致。残余应变。 良好的黏结剂与基底材料，敏感栅材料热处理。 （四） 机械滞后 Δε 机械应变ε真 卸载 加载 指 示 应 变 ε指 应变片的机械滞后 与基长有关， （五） 最高工作频率 83.3 3 50 5 25 10 16.6 15 12.5 125 250 最高工作频率/kHz 20 2 1 基长/mm （六） 应变片的电阻值 习惯选用60、120、200、350、1000等，电阻值大，承受电压大，输出信号大。 工作电流大，应变片输出信号就大，但是 零漂和蠕变会增加。 （七） 最大工作电流 （八）零漂和蠕变 （strain gauge zero shift and strain gauge creep) 在一定温度下，不加载或加载时 指示应变随时间而变化的特性 应变片的阻值受环境温度变化造成的误差称为应变片的温度误差。由于环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，所以必须进行温度补偿。 （九） 电阻应变片的温度特性 自补偿 电桥补偿 常用补偿方法： 因环境温度改变而引起电阻变化的两个主要因素：1.应变片的电阻丝(敏感栅)具有一定温度系数； 2.电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。 K——应变片灵敏系数; βs—试件材料线膨胀系数； βg—敏感栅材料线膨胀系数。 ——电阻丝温度系数 自补偿条件： 自补偿方法 电桥补偿法 测量应变时，使用两个应变片，一片贴在被测试件的表面, 另一片贴在与被测试件材料相同的补偿块上，在工作过程中补偿块不承受应变，仅随温度发生变形,如图（a）；也可采用差动，如图（b）。 电桥补偿法粘贴示意图 试件 R1 补偿块 RB (a)补偿块不承受应变 (b)差动 M M1 第二节 半导体应固态压阻式传感器 半导体固态压阻式传感器（solid-state piezoresistive sensor)基于压阻效应。 半导体材料在机械应力的作用下，使得材料本身的电阻率发生了较大的变化，这种现象叫做压阻效应。 压阻效应具有方向性，横向效应小。 扩散式半导体应变片（diffused semiconductor strain gauge) 半导体硅膜片不需粘贴 体型半导体应变片(bulk type semiconductor strain gauge) ? 压阻系数 E ? 弹性模数 实验表明：