薄膜物理CH溅射镀膜.ppt

Ch.3 溅射镀膜技术; ? 溅射镀膜的特点 ? 溅射的基本原理 辉光放电、溅射特性、溅射镀膜过程、溅射机理 ? 溅射镀膜的类型 二极溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、对向靶溅射、反应溅射、离子束溅射 ? 溅射镀膜厚度的均匀性（自学）;溅射镀膜的特点;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——辉光放电;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射特性;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射镀膜过程;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射的基本原理——溅射机理;溅射镀膜的类型——二级直流溅射;溅射镀膜的类型——二级直流溅射;溅射镀膜的类型——偏压溅射;溅射镀膜的类型——三极或四极溅射;溅射镀膜的类型——三极或四极溅射;溅射镀膜的类型——三极或四极溅射;溅射镀膜的类型——射频溅射;溅射镀膜的类型——射频溅射;溅射镀膜的类型——射频溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——磁控溅射;溅射镀膜的类型——对向靶溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——反应溅射;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;溅射镀膜的类型——离子束溅射镀膜;习题、思考题