《环境扫描电子显微镜介绍》.pptVIP

环境扫描电子显微镜;;High Vacuum;低真空扫描电镜;普通高真空扫描电镜（CSEM） ;电子光学系统、样品室系统必须处于高真空环境。;E-T二次电子探头;对样品要求不含水、导电，否则产生荷电现象，影响图像观察。;;环境扫描电子显微镜; 在一定范围内改变样品所处的环境：气压（至50Torr）、温度(至1500℃)、气氛（水蒸气或反应性气氛）。;环境扫描电镜; 环境扫描电镜: 三种操作方式 高真空方式 (常规方式) 低真空方式 (不喷涂, 非导电样品): 0.1 ~ 1 Torr 环境方式(ESEM, “Wet”样品): 0.1~20 Torr (W) 0.1~10Torr(FEG) 样品室压力通过软件设定;不导电的样品：在样品室中的气体离子化去除了荷电。; 高温：环境二次电子探测器对温度的升高不敏感，当样品加热到1500℃仍可获得二次电子像。;取消样品室中的高真空要求，采用两套真空环境——放入压差光阑（PLA:Pressure Limiting Apertures），使电子光学系统处于高真空状态，样品室处于50Torr气压环境中。;在环境扫描电镜中，样品室中的气压是由流入量与流出量的平衡决定的。流出量由压差光阑控制：气体从样品室流出的流量取决于压差光阑的尺寸和压差光阑上下气压差。流入样品室气体的流量由操作者通过一个自动气阀控制。 ;用两个靠的很近的放置在物镜中的压差光阑来满足上述要求。 ;在压差光阑至上、之间、之下分别通管道抽气，足以提供从样品室50Torr至透镜中10-5Torr的真空梯度。 ;环境扫描电子显微镜;;SED;多级压差光阑;在环境扫描电镜中如何维持高真空扫描电镜的高分辨率的特性？; 把压差光阑放在镜筒底部，减小了束电子穿过高气压段的距离，阻止了到达样品上的大多数电子发生散射。;电子在气体中的散射：; 电子的散射过程可用一个统计分布来描述： 泊松分布。;按m值的高低将电子的散射分成三个部分：;;;随着气压的增加，电子束逐渐展宽？;未散射电子与散射电子的强度比决定了散射对图像质量的影响程度。; 既使在部分散射区图像的分辨率仍由未散射的束电子部分决定，而散射的束电子部分只是背底噪音，并由此引起束流的降低。;;;gas; 入射电子束与样品相互作用产生的二次电子逸出样品表面，在环境二次电子探测器所加的几百伏正电压的作用下加速向上运动；这些加速运动的二次电子与气体分子碰撞，使其电离，产生正离子和电子（称为环境二次电子）；这个电子加速和气体电离过程反复进行，导致原始二次电子信号的成比例的级联放大。而受样品表面荷电吸引向下运动的正离子可以消除荷电。;;环境二次电子探测器 ESD;环境二次电子探测器：;;;ESD探测器成像;FEG ESEM;四、X射线能谱分析：;; 电子束同时也激发样品室中的气体产生气体元素的特征X射线。;ESEM 应用实例;人体组织;动植物表面;昆虫(活体);牙膏;微生物;3.6 Torr;加热台;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;植物花粉;甲虫;dsfdbsy384y982ythb3oibt4oy39y409705923y09y53b2lkboi2y58wy0ehtoibwoify98wy049ywh4b3oiut89u983yf9ivh98y98sv98hv98ys9f698y9v698yv98x98tb98fyd98gyd98h98ds98nt98d8genklgb4klebtlkb5k tkeirh893y89ey698vhkrne lkhgi8eyokbnkdhf98hodf hxvy78fd678t9fdu90gys98y9shihixyv78dfhvifndovhf9f8yv9onvkobkw kjfegiudsfdbsy384y982ythb3oibt4oy39y409705923y09y53b2lkboi2y58wy0ehtoibwoify98wy049ywh4b3oiut89u983yf9ivh98y98sv98hv98ys9f698y9v698yv98x98tb98fyd98gyd98h98ds98nt98d8genklgb4klebtlkb5k tkeirh893y89ey698vhkrne lkhgi8eyokbnkdhf98hodf hxvy78fd678t9fdu90gys98y9shihixyv78dfhvifndovhf9f8yv9onvkobkw kjfegiu dsfdbsy384y982ythb3oibt4oy39y409705923y09y53b2lkboi2y58wy0ehtoibwoify98wy049ywh4b3oiut89u983yf9ivh98y98sv98hv9