2013_新型传感技术与应用(13_11_06)-08_to.ppt

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2019-12-02 发布于湖北
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拉伸;圆柱体的拉伸振动特性; ;圆柱体的扭转振动特性; ;圆柱体的弯曲振动特性; ;4.2 扭矩传感器;4.3 电容式压力传感器;4.3.1 典型电容式压力传感器;电容式压力传感器;圆膜片的位移特性;;电容式压力传感器;电容式压力传感器;电容式压力传感器;作业中的问题——2009年教学中的一个故事;电容式压力传感器;电容式压力传感器;电容式压力传感器;电容式压力传感器(思考题);4.4 硅微机械电容式压力传感器(MEMS);方膜片的位移特性;方膜片的位移特性;方膜片的位移特性;方膜片的位移特性(上表面);工作原理;方膜片的大挠度特性 ——非线性分析;方膜片的大挠度特性 ——非线性分析;方膜片的大挠度特性 ——非线性分析;方膜片的振动特性;方膜片的振动特性;方膜片的振动特性;主要内容;第五部分：谐振式传感技术;思考题(第五部分)