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清洁生产评价指标体系 集成电路制造业 Cleaner production assessment indicator system Integrated circuits manufacturing industry （标准送审稿） 编制说明 标准编制组 2017年4月  目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK 1 任务来源、起草单位、编制组成员单位与主要起草人 1 HYPERLINK 2 集成电路制造业概况 1 HYPERLINK 2.1 集成电路制造业生产概况 2 HYPERLINK 2.2 集成电路制造业生产工艺 4 HYPERLINK 2.3 集成电路制造业能源与水消耗及产排污分析 5 HYPERLINK 3 制定标准的必要性和意义 8 HYPERLINK 4 主要起草过程 9 HYPERLINK 5 制定标准的原则和依据，与现行法律、法规、标准的关系 12 HYPERLINK 6 主要条款的说明，主要技术指标、参数、试验验证的论述 16 HYPERLINK 6.1 范围 16 HYPERLINK 6.2 规范性引用文件 16 HYPERLINK 6.3 术语和定义 16 HYPERLINK 6.4 评价指标体系 19 HYPERLINK 6.5 评价方法 24 HYPERLIN