第12章 电子探针.pptVIP

第11章 电子探针显微分析 电子探针X射线显微分析（简称电子探针显微分析）（Electron Probe Microanalysis，简称EPMA）是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析，它特别适用于分析试样中微小区域的化学成分，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 电子探针镜筒部分的结构大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是X射线谱仪，专门用来检测X射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。 电子探针X射线显微分析 常用的X射线谱仪有两种： 一种是利用特征X射线的波长不同来展谱，实现对不同波长X射线分别检测的波长色散谱仪，简称波谱仪（Wavelength Dispersive Spectrometer，简称WDS） 另一种是利用特征X射线能量不同来展谱，的能量色散谱仪，简称能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，简称EDS）。 一、电子探针仪的结构与工作原理 电子探针仪的结构示意图见图，由图可见，电子探针仪除X射线谱仪外，其余部分与扫描电子显微镜相似。 1、波谱仪（WDS）的结构和工作原理 X射线波谱仪的谱仪系统——也即X射线的分光和探测系统是由分光晶体、X射线探测器和相应的机械传动装置构成 分光和探测原理——解决的办法 X射线的分光和探测原理: 如果我们把分光晶体作适当地弹性弯曲，并使射线源