芯片抛光车间供液系统管路及其成套系统设计__毕设终稿-毕业设计(论文).docVIP

中北大学2014届毕业设计说明书 摘 要 随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基础设施建设提出了更高的要求。而厂矿企业对供水供液的要求也越来越大，在供液系统方面面临的矛盾和问题日益突出。随着企业生产对供液质量和供液系统可靠性要求的不断提高，利用先进的自动化技术、控制技术，设计出高性能、高节能、能适应供液系统复杂环境的恒压、稳流等优良的供液系统成为必然趋势。 本课题针对芯片抛光车间生产的特点，对芯片抛光车间的供液系统管路进行了研究，采用合理方案对供液系统进行了优化设计。相对于传统的供液管路系统，本课题主要在供液原理、空间布局，设备选型等方面进行了改良，并用相关软件进行了空间布局和结构安装图的绘制。 关键词：芯片抛光车间 ，供液管路 , 恒压 ，稳流 ABSTRACT With the development of society and economy, Not only the modern business building develop very rapidly, but also the requirements on corporate infrastructure put forward higher. The requirements of industrial enterprises for water supply is also gr