《制冷与低温测试技术》第3.2章压电式压力传感器.ppt

* —制冷与低温测试技术— 浙江大学能源系 上页 下页 * —制冷与低温测试技术— 浙江大学能源系 上页 下页 * —制冷与低温测试技术— 浙江大学制冷与低温研究所 上页 下页 压电式压力传感器 Piezoelectricity:压电效应 3.2 压电效应和压力传感器 缺点：不能用于静态参数的测量。 优点：压电式传感器具有：①使用频带宽；②灵敏度高；③信噪比高；④结构简单；⑤工作可靠；⑥质量轻等。 压电式传感器的特点 常见的压电材料分为三类：单晶压电晶体； 多晶压电陶瓷；新颖压电材料（有机材料） 晶体结构中有无对称中心是产生电压效应的必备条件。 晶体压电效应 压电材料 一般压电效应材料可以分为压电单晶体材料、压电多晶体材料（又称压电陶瓷）和压电有机材料。 石英晶体（天然和人造）：SiO2(二氧化硅)压电系数为d11=2.31×10-12C/N。加热到几百度不变，产生十分稳定的固有频率fo,承受700～1000 Kg/cm2压力。但到575oC时，完全丧失压电性质（居里点）。 压电陶瓷：人造多晶系压电材料，钛酸钡、锆钛酸铅等。钛酸钡压电系数为dll=107×10-11C/N ， BaTiO3压电常数高于石英晶体，但介电常数、机械性能不如石英。 压电式压力传感器中主要利用纵向压电效应。 Q11=d11Fx 其中：F