半导体厂耗能指标及节能方案之研究-(公开课件).pptVIP

MAU冰水系統:單冰水及雙冰水 外氣空調箱單/雙冰水溫度能量比較圖 冰水溫度提高1℃ 主機效率可提高6%。 可減少的冰水主機購買成本。 每年可節約電力達97,000kWH (194,000元) 。 每年節約達2.3%。 MAU加熱系統:電熱及熱回收系統 外氣空調箱加熱系統能量比較圖 採冰水主機冷凝溫度回收供加熱使用，不須燃料或電力。 可減少鍋爐購買成本。 每年可節約電力達957,000kWH (1,914,000元) 。 每年節約達29%。 外氣空調箱(MAU)系統元件最佳化的選擇 外氣空調箱各組合系統整年總耗電能比較圖 總耗電能隨著系統剛開始採用鼓風式單冰水電熱水鍋爐加熱系統慢慢改成最後的抽風式雙冰水冰機熱回收加熱系統而減少，其耗電量亦隨著外氣溫度的升高而提升。 節能方面 降低外氣空調箱出風溫度的效益 已知無塵室的負荷為: q infiltration + q clean room + q FFU + q Lighting + q people + q 其他 = q MAU + q Dry coil 調降出風口1℃的效益 q MAU =ρQC△T = 1.19 *16,467 * 60= 1,175,743.8 kJ/hr =1,175,743.8 ÷ 4.186 (kJ/kcal) ÷ 3024 (kcal/RT) = 92.8 RT 先前