材料微结构分析方式的研究生SEM.pptVIP

二、关机 1.将SEM抽好真空（菜单显示readey）后, 关闭SEM电脑； 2.关闭SEM 钥匙开关（轻轻左转至“OFF”处） 3.关闭能谱电脑 4.关闭能谱工作站开关（在工作站后面）； 5.关闭稳压电源开关（位于最右处，将开关向下推）； 6.15分钟后关闭循环水开关（位于走廊处，将开关按到“0”处） 1.热场发射扫描电镜； 2.分辨率：1nm 3.放大倍数：30-50万倍 4.价格：313万RMB 5.具有：二次电子像、背散射像、能谱（EDS）、 背散射电子衍射花样（EBSD）等功能。 ZEISS- Supra55扫描电镜 电子背散射衍射（EBSD）的应用 1织构及取向差分析 2 晶粒尺寸及形状的分析 3 晶界、亚晶及孪晶性质的分析 4 相鉴定及相比计算 5 应变测量 单晶硅EDSD衍射花样 8.4万倍 22.4万倍 40万倍 85.5万倍 谢谢各位同学 2009年9月26日 五 扫描电镜的种类 依据性能不同主要分为： （1）一般SEM 目前一般扫描电镜采用热发射电子枪，分辨率为6nm左右，若采用六硼化镧电子枪，分辨率可提高到4～5nm。我校有这样的设备。 （2）场发射电子枪SEM 由于场发射电子枪具有亮度高、能量分散少，阴极源尺寸小等优点，这种电