新兴的高能束流电镀技术 激光电镀.pptVIP

新兴的高能束流电镀技术;一．引言;二．原理;部受光照区域沉积过程的剧烈加速。这种对激光引发的电镀增强效应的理论解释称为激光电镀的热模型。还有一种用来解释电镀增强效应的光模 型，这一模型认为电镀反应的增强来源于光解效应，亦即激光促进了电解液离子自分解引起电化学反应速度的增大，从而导致电镀速率的增加。; 激光束经过光学系统聚焦后能达到极高的功率(能量)密度,例如功率为1瓦的氢激光器的输出光束经过透镜聚焦成直径为几十微米的光点,其功率密度可达104-105瓦/厘米。受光照的阴极材料吸收激光能量后,将使电解液一阴极界面附近的局部微小区域里的温度骤然升高而产生陡峭的温度梯度,并在电解液中引起强烈对流,从而搅拌了溶液。温升和搅拌造成局部区域里离子迁移率增加,阴极还原反应增强和平衡电位的正向漂移,最后导致阴极受光照局部区域沉积速率的升高和电镀电流的增加。我们定义增强比E等于激光照射时的电镀电流密度与无激光照射时背景电镀电流密度之比,它可以用下列公式表示:;激光增强电镀铜的实验装置如图所示; 利用上述实验装置我们分别测量激光照射前后的电镀电流值,求出激光增强的电镀电流变化量△I。镀点直径(或镀线宽度) d用微米级读数显微镜测量。根据公式可以从电流变化量△Ｉ和直径d算出增强比E。镀层厚度用轮廓仪测出,沉积速率R用厚度H除以曝光时间T来计算:R=H/T。 为了研究电镀参数随工作条件变化的规律