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国家标准《洁净室及相关受控环境 第12部分：按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级》征求意见稿.pdfVIP

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  • 2019-12-19 发布于福建
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国家标准《洁净室及相关受控环境 第12部分：按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级》征求意见稿.pdf

    ICS 13.040.35 C 70 GB/T 25915.12—201 / ISO 14644-12:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration ISO 14644-12: 20 15 IDT 4 [ 2017-04-08 ] 20 - - 20 - - GB/T 25915.12-201X / ISO 14644-12:20 15 2 3 1 4 2 4 3 4 3.1

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