压力和真空度检测工作仪表.pptVIP

* * * * * * * * * * * 应变电阻片 将一根电阻丝弯曲且并行地排列成栅形,贴附在基板上成为电阻栅;金属丝两端有引出线;线栅上盖绝缘的保护片。 电阻丝一般为高阻金属细丝如康铜丝。直径Ф=0.02~0.04mm,长L=25~150mm,宽D=3~30mm,电阻值R0为60Ω,120Ω,200 Ω,300Ω, 500Ω,1000Ω。 (a) 丝式应变片 (b) 箔式应变片 图6—2 应变电阻片的结构 应变计 金属应变片 案例：桥梁固有频率测量 案例：冲床生产记数和生产过程监测 压阻效应:单晶半导体受到外力作用时,其载流子的迁移率 发生变化,而改变其电阻率ρ,从而引起电阻值的相对变化, 这种现象称为半导体的压阻效应。 Ke为压阻系数, σ 为应力。 3.3.5 压阻式压力传感器 工作原理:利用单晶硅的压阻效应而构成。 用集成电路工艺,在单晶硅的 特定方向上扩散一组等值电阻, 并接成桥路。 3.3.5 压阻式压力传感器 当p变化时,使膜片变形,膜片上 的电阻值发生变化,使电桥输出 相应压力变化的电信号。 结构: 特点:精度高.工作可靠.频率响应高. 迟滞小.尺寸小.重量轻.结构简单。 适于恶劣环境下使用,便于实现显示数字化。 可测差压.速度.高度.加速度等参数。 MPM280OEM装配型压阻式压力传感器 通用型MPM380型压阻式压力传感器