传感器原理及应用第2章 传感技术及基本特性研究报告.pptVIP

第2章 传感技术及基本特性 2.1 传感器概论 2.2 传感器的基本特性 2.3 检测仪表的分类 2.4 检测技术的发展;; 敏感元件是直接感受被测非电量，按一定规律转换成与被测量有确定关系的其它量(仍为非电量)的元件。 例如 膜片和波纹管把被测压力转变成位移量等。 ; 传感元件又称变换器，是能将敏感元件输出的非电量直接转换成所需的信号的元件. 例如 应变式压力传感器中的弹性膜片就是敏感元件，而电阻应变片就是传感元件。; 敏感元件与传感元件也可两者合二为一，称为一次传感元件， 它能直接输出电学量，如压电晶体、热电偶、热敏电阻、光学器件，直接感受被测量而输出与之成确定关系的电量。 ;传感器分类; 按敏感材料不同 ;按应用场合不同 ; 使用目的的不同，分为计测用、监视用、检查用、诊断用、控制用和分析用传感器等。;按照工作原理分类;按被测量分类;2.2 传感器静态特性; 静态特性包括： 线性度、迟滞、重复性、灵敏度、稳定性 ;2.2 传感器静态特性;（2）迟滞;（2）迟滞;例：电子秤 增加砝码 10g —— 50g —— 100g —— 200g 电桥输出 0.5 mv --- 2mv --- 4mv --- 10mv 减砝码输出 1 mv --- 5mv --- 8mv --- 10mv; 原因: 机械部分存在不可避免的缺陷， 如轴承磨损，紧固件松动和材料内 部分子间摩擦等。 ;（3）重复性;（3）重复性;重复性越好，使用时误差越小 ;（4）灵敏度;（4）灵敏度;（4）灵敏度;（5）分辨率; 例如电压表的分辨率是10μV，即能测的最小电压为10μV，当增加7μV或8μV的电压时，电压表不会作任何反应。 ; 零点漂移: 在零输入的情况下，输出值的漂移。 蠕变 是指某些测量载荷的仪表，当加载后随时间变化而使输出发生变化的现象。 ;2.3 传感器动态特性;用时域法表示成：; 动态特性与静态特性的主要区别： 动态特性中输出量与输入量的关系不是一个定值，而是时间的函数，它随输入信号的变化而改变。;2.3 传感器动态特性;用热电偶测温,理想情况测试曲线T是阶跃变化的； 实际热电偶输出值是缓慢变化，存在一个过渡过程;2.3 传感器动态特性;2.3 传感器动态特性;2.3 传感???动态特性;2.3 传感器动态特性; 频率特性: 在动态测量中，输出幅值和相位随频率 的变化而改变. 幅频特性: 幅值随频率变化而改变的特性； ; 相频特性: 相位随频率的变化而改变的特性。 幅值下降到稳定幅值的0．707倍时所对应的频率称为截止频率。 ;2.4、性能指标; 3．精度指标： 精度(误差)、重复性、线性、滞后、灵敏度误差、 阀值、稳定性、漂移等 ; 4．动态性能指标： 固有频率、阻尼系数、频响范围、频率特性、时间常数、上升时间、响应时间、过冲量、衰减率、稳态误差、临界速度、临界频率等 ;五、特性的应用; 干扰的查找: 输入和系统特性已知，推断和估计系统的输出。;第二节 命名方法及代号; (4)第三级——特征描述，强调传感器结构、性能、材料特征 (5)第四级——主要技术指标(量程、精确度、灵敏度范围等等)。 ;2．命名法范例 ;例3： 传感器.声压.电容式.100至160dB； 例4： 传感器.绝压.应变[计]式.放大[型]， 0——3500kPa： 作为产品名称采用与上述相反的顺序。 ;例1： 100mm应变式位移传感器； 例2： 0至70kPa电位器式差压传感器：;例3： 100至160dB电容式声压传感器： 例4： 0至3500KPa放大[型]应变[计]式绝压传感器： ;3．代号标记示例;(2)温度传感器 C W - 01A 序号 被测量（温度） 主称（传感器） ;第三节 材料; 敏感材料的品种多，有半导体材料、石英敏感材料、高分子敏感材料等。 ; 辅助材料是传感器不可缺少的组成部分。 直接影响传感器的静态、动态特性及稳定性、可靠性和寿命。; 按材料的特性可将传感器材料分为半导体材料，敏感陶瓷材料，石英敏感材料，金属及合金材料，无机材料，有机材料，生化材料，高分子敏感材料、超晶格等。 ;第四节 制作技术;1．系统的主要工艺 (1)半导体工艺。 (2)硅微机械加工技术。 (3)集成光学技术。; (4)厚膜—薄膜技术。