测试4参数式传感器及其应用.ppt

6）电容式传感器典型结构 变极距(δ）型: (a)、(e) 变面积型(A)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h） 变介电常数(ε )型: （i）～(l) 3、电容式传感器 7）电容式传感器的应用 3、电容式传感器 （1）电容式转速传感器 （2）电容式厚度传感器 ——电容式传感器的应用 （3）电容式压差传感器 结构：变间隙差动方式电容传感器 固定极板:两个凹面镀金的玻璃圆盘 可动电极:一个金属(不锈钢)膜片 当p1≠p2时，膜片弯向一侧，那么两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量大小相同 当压差反向时，差动电容变化量也反向 特点：结构简单，灵敏度高，响应速度快(约100ms)，能测微小压差(0～0.75Pa) 电容式差压传感器结构示意图 1－金属镀层 2－凹形玻璃 3－膜片 4－过滤器 5－外壳 3、电容式传感器 ——电容式传感器的应用 （4）电容式微加速度传感器 结构：上、下电极固定不动，动片是左端固定在衬底上的悬臂梁，可以上下振动 三维方向的振动或加速度测量：在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器 3硅衬底，4底层多晶硅——下电极，5中间层多晶硅——振动片； 6顶层多晶硅——上电极 3、电容式传感器 ——电容式传感器的应用 变极距式电容传感器产品举例 非接触DWC型电容式位移测量仪：平面、圆柱面 线性量程:5/10/50/100/500/1000/2000/3000/4000/5000μm 分辨率:0.01%FS??? 非线性: 0.25%FS???? 频响:0--7.5KHz??? 电源:+15V,-15V??? 输出:-5V--+5V??? 温度稳定性:0.25% FS/h????? 具有自校灵敏度.非线性功能 3、电容式传感器 ——电容式传感器的应用 应变片式传感器技术参数 类 型 金属应变片 半导体应变片 测量范围με 0.1～50000 0.001～3000 灵敏系数 1.8～4.5 50～200 标称阻值Ω 120，350，600，…，5000 1000～5000 电阻受温度影响 温度系数是正值 温度系数一般是负值 电阻容差 0.1%～0.35% 1%～2% 有效栅长度/mm 0.4～150 标准值：3～10 1～5 2、电阻式传感器 ——电阻应变式传感器 金属应变片与半导体应变片的性能比较 半导体应变片： 优点是灵敏度高，比金属材料约高50倍，因此有时可以不加放大器，使测量电路大大简化。 缺点是电阻温度系数大，比常用金属丝材料大几十倍，因此对温度过于敏感； 此外大应变时灵敏度不为常数。 2、电阻式传感器 ——电阻应变式传感器 金属应变片： 优点是灵敏度一般为常数。 温度影响比半导体小，由温度引起的电阻变化与试件应变带来的电阻变化也几乎是同一数量级。 缺点是灵敏度较低，需要放大电路。 应变片结构 2、电阻式传感器 目前主要使用金属箔式应变片 ——电阻应变式传感器 各种形式应变花 常用金属应变片材料 康铜：常用的电阻丝材料 卡玛合金：比康铜具有更长的疲劳寿命和更宽的温度范围 适用于长时间静态测量 铂钨合金：具有极长的疲劳寿命 应变片性能 对绝缘电阻要求高： 粘贴的应变片与被测试件之间的电阻值一般要求R＞108Ω 限制最大工作电流Imax： 应变片敏感栅允许通过的不影响其工作特性的最大电流值 通常静态测量取25mA左右，动态测量可取75～100mA 2、电阻式传感器 ——电阻应变式传感器 ？ 柱式 应变片式传感器的应用 膜片式（气体、液体） 梁式 等截面梁 双孔梁 S型拉力梁 2、电阻式传感器 ——电阻应变式传感器 应变片的安装 安装质量——力传递效果——测量效果 应变大的方向——应变片纵向 安装方法有三种：粘贴法、焊接法和喷涂法，其中粘贴法最为常用 2、电阻式传感器 ——电阻应变式传感器 应变传感器温度误差及补偿 温度引起的测量误差 温度效应：阻值随温度变化 热膨胀效应：不同的线胀系数导致不同应变 实用中常采用桥路补偿方法 电阻温度效应 热膨胀效应 2、电阻式传感器 Rt、R0—应变片在温度t、t0时电阻值 α—应变片电阻丝的电阻温度系数 β—电阻丝材料和试件材料的线膨胀系数 Ｓ—应变片灵敏系数 Δt —温度变化量 电桥特征：输出电压与相邻臂阻值之差成比例。 因此：电桥可以实现温度补偿。 ——电阻应变式传感器 2.2 热电阻式传感器——测量温度 工作原理