Q_YJKJ001-2019电子工业用气 四氟化碳.pdf

福建永晶科技股份有限公司 企业标准 Q/YJKJ001-2019 电子工业用气体 四氟化碳 Gasesfor electronicindustry—Tetrafluoromethane 2019-10-19发布 2019-11-01实施 福建永晶科技股份有限公司 发布 Q/YJKJ001-2019 前  言 本标准按照 GB/T 1.1-2009、GB/T20000.1-2014 给出的规则起草。 本标准主要起草人：任清贵、刘春花、徐道斌、张勇平 1 Q/YJKJ001-2019 电子工业用气体四氟化碳 范围 本标准规定了瓶装四氟化碳的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本 标准适用于氟和碳直接反应制取并经纯化处理后的四氟化碳产品。它主要用于微电 子工业中等离子蚀刻工艺，是二氧化硅、氮化硅等薄膜的等离子蚀刻剂。它还可用作电子 器件和印刷电路板的去污剂。 分子式:CF4 分子量:88.0043128(按 2007年国际原子相对质量)。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用 是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的 版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 包括所有的修改单 适用于本( ) 文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 6681气体化工产品采样通则 GB 5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1 1 : 气体湿度的测定第 部分 电解法 GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法 GB7144 气瓶颜色标志 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T 11640铝合金无缝气瓶 GB 14194 永久气体气瓶充装规定气瓶安全监察规程 技术要求 四氟化碳的质量应符合表一的规定。 2 Q/YJKJ001-2019 项 目 指 标 四氟化碳 （CF ）纯度 （体积分数）/10-2 ≥ 99.999 99.9995 4 氢 （H ）含量 （体积分数）/10-6 1 0.1 2 氮 （N ）含量 （体积分数）/10-6 4 2 2 氧+氩 （O+Ar）含量 （体积分数）/10-6 1 0.5 2