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不同P注入扩散前后浓度分布曲线图 2011/09/27 一、P注 80kev 1E15 图1 扩散前浓度分布曲线图（n+结深0.7um） 图2 扩散1200oC 180min浓度分布曲线图（n+结深8um） 图3 扩散1200oC 1800min浓度分布曲线图（n+结深22.5um） 图4 扩散1200oC 3600min浓度分布曲线图（n+结深30um） 二、P注 80kev 1E14 图5 扩散前浓度分布曲线图（n+结深0.6um） 图6 扩散1200oC 180min浓度分布曲线图（n+结深7um） 图7 扩散1200oC 1800min浓度分布曲线图（n+结深20um） 图8 扩散1200oC 3600min浓度分布曲线图（n+结深28um）