Q_YT 001-2019高精密特气专用气瓶柜.pdf

Q/YT 长兴云腾新能源科技有限公司企业标准 Q/YT 001—2019 高精密特气专用气瓶柜 UHP Specialty Gas Cabinet 2019-05-01 发布 2019-07-01 实施 长兴云腾新能源科技有限公司公司 发布 Q/YT 001-2019 前 言 本标准按照GB 50646 - 2011 《特种气体系统工程技术规范》 的相关规范而编写制定。 本标准作为企业组织生产和质量监督检验的依据， 其中的试验方法采用了相应的国家标准的规定。 本标准起草单位： 长兴云腾新能源科技有限公司提出并起草。 本标准主要起草人： 韩明明、 刘霞 本标准2019年05月01日首次发布。 2 Q/YT 001-2019 高精密特气专用气瓶柜 1 范围 1.1 本标准规定了特种气体系统工程的设计、 施工及验收时高精密特气专用气瓶柜应符合的标准。 1.2 本标准适用于新建、 改建和扩建的电子工厂的特种气体专用气瓶柜系统工程的检测和验收过程。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单 （不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用 于本标准。 《特种气体系统工程技术规范》 GB 50646 - 2011 《现场设备、 工业管道焊接工程施工及验收规范》 GB 50236 《工业金属管道工程质量检验评定标准》 GB 50184 《建筑电气工程施工质量验收规范》 GB 50303 《工业金属管道设计规范》 GB 50316 《工业金属管道设计规范》 GB 50316 3 术语和定义 3.1 特种气体 specialily gas 电子产品生产的、掺杂、 外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的自燃性、可燃性、毒性、 腐蚀性、 氧化性、 惰性等特殊气体。 3.2 特种气体系统 speciality gas system 是指特种气体的储存、 输送与分配过程的设备、 管道和部件的总称。 3.3 特种气体间 speciality gasroom 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备， 并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 3.4 大宗特种气体系统 一般情况下， 储存量大于 500L 的特种气体储存和送气系统。 3.5 气瓶集装格 thebundleofgascylinders 用专用金属框架固定， 采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。 3.6 气瓶柜 gascabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。 3.7 气瓶架 gasrack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。 3.8 阀门箱 valvemanifoldbox (VMB) 3 Q/YT 001-2019 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特