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微机电系统(MEMS);一、MEMS技术的历史;;聚合物薄膜;;二、引 言;;三、MEMS概念;;硅微齿轮;弧形梳齿
;硅微转子;;硅微梁;硅微梁;硅微转动器;硅微拖动器;硅微桥;硅微桥;硅微琴;已经制造出尖端直径为5?m的可以夹起一个红细胞的微型镊子;四、MEMS制造工艺;;
;（3）LIGA工艺
Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸)、Abformung(塑铸)
;LIGA工艺;五、MEMS的分类;MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景;空间应用
用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验，正在进行飞行搭载实验
微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础研究
通信方面
光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展
无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统;1、微传感器：
机械类：力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量传感器
磁学类：磁通计、磁场计
热学类：温度计
化学类：气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器
生物学类：DNA芯片;电容式微加速度计;微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具。;静电;线性马达;美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，
全由硅片构成，直径仅15cm;3、光通信MEMS器件;(1) 可转动的硅微镜;;微镜的驱动方式;
改变反射方向;（c）磁力驱动;MEMS微镜的应用;DMD——应用;光交换开关;;(2) 光纤固定结构;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 <5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率 <2W/mN，质量为几克，???小为1cm2。;MEMS技术及其产品的增长速度非常之高，并且目前正处在加速发展时期;七、微机电系统的设计技术;研究领域;研究领域
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