Q_GTS 2-2019卷绕式磁控光学镀膜机.pdf

ICS 23.160 J 78 Q/GTS 广东腾胜真空技术工程有限公司企业标准 Q/GTS 2—2019 卷绕式磁控光学镀膜机 2019 - 09 - 28 发布 2019 - 09 - 28 实施 广东腾胜真空技术工程有限公司 发 布 Q/GTS 2—2019 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 要求 1 5 试验方法 2 6 检验规则 4 7 标志、包装、运输、贮存 4 I Q/GTS 2—2019 前 言 本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由广东腾胜真空技术工程有限公司提出并起草。 本标准起草人：朱文廓、朱刚劲、朱刚毅、杨容军、朱嘉辉、吴志坚、邝梓炜 苏拉。 本标准于2019 年9 月28 日首次发布。 II Q/GTS 2—2019 卷绕式磁控光学镀膜机 1 范围 本标准规定了卷绕式磁控光学镀膜机的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运 输和贮存。 本标准适用于卷绕式磁控光学镀膜机（以下简称镀膜机）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 3 术语和定义 SJ/T 10478 界定的术语和定义适用于本文件。 4 要求 4.1 正常工作条件 4.1.1 温度: 20℃±10 ℃。 4.1.2 相对湿度: 不大于75 % 。 4.1.3 冷却水:进水温度不高于25 ℃,压力不低于O.3 MPa ,pH 值在6.5 ～8.5 范围内，硬度不大于 2.857 mg 当量/L,浮悬物含量不超过20 mg/L 。 4.1.4 供电电源：电压330 V 三相或220 V 单相，电压波动 ±10% ；频率50 Hz ,频率波动 ±2 % ； 4.1.5 镀膜机工作所需的氧气、氮气、氩气等的耗量、压力，按产品说明书的规定。 4.1.6 工作环境：空气洁净度等级及其他特殊要求按产品说明书的规定。 4.2 一般要求 4.2.1 镀膜机应按规定程序批准图样及技术文件制造，并应符合本标准的要求。 4.2.2 镀膜机的装配质量应符合制造厂技术文件的规定，装配时对工作中处于真空状态的各零部件表 面应进行有效的清洗处理并予以干燥，各运动件装配后应运动灵活平稳。 4.2.3 镀膜机中所配置的功能装置，均应逐项调试和联合调试，性能均应达到设计要求、运行可靠。 工件加热过程中设备应能正常运转。 4.3 外观要求 1 Q/GTS 2—2019 4.3.1 镀膜机的外观质量应没有非功能性需要的尖角、梭角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面边 沿应整齐匀称，不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无变质、脱落及生锈等现象。所有紧固件应 有防腐层。 4.3.2 镀膜机的涂漆表面应光洁、