Q_QXN CP.02017-2019氮化硅陶瓷产品内控标准：半导体行业用套管衬垫类.pdf

新 特 能 源 股 份 有 限 公 司 企 业 技 术 标 准 Q/XN CP.02017-2019 代替Q/XN CP.01017-2018 氮化硅陶瓷产品内控标准：半导体行业 用套管/衬垫类 2019-2-26 发布 2019-3-1 实施 新特能源股份有限公司 发布 Q/XN CP.02017-2019 前 言 为适应我国循环经济发展的需要，在市场需求的基础上，结合我公司陶瓷产品的生产、检 验的实际情况而制定的本标准。本标准修订参考JC/T 2349-2015版国家标准、客户合同和技 术文件规定相关内容，规定了氮化硅陶瓷产品的术语和分类、要求、检测方法、检验标准、包 装、标识、贮存及运输、采样的相关要求。本标准的制定能满足市场及用户对陶瓷产品的质量 要求。 本标准由新特能源股份有限公司提出并批准。 本标准修订的主要内容如下： ——对内控标准名称进行修订。 ——对产品进行分类，并明确具体要求。 ——对定义和术语进行了明确。 ——对标志、包装、运输及储存进行修订。 本标准由新疆晶硕新材料有限公司提出。 本标准起草单位 :新疆晶硕新材料有限公司、质量管理部。 本标准主要起草人：潘小龙、张耀华、杨帅、杨翔宇。 本标准发布部门：质量管理部。 本标准于 2018 年 5 月 26 日首次发布。 本标准所代替标准的历次版本发布情况： ——Q/XN CP.01017-2018 1 Q/XN CP.02017-2019 氮化硅陶瓷产品：半导体行业用套管/衬垫类 1 范围 本标准规定了新疆晶硕新材料有限公司半导体行业用套管/衬垫类氮化硅陶瓷产品 的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存。 本标准适用于新疆晶硕新材料有限公司生产的半导体行业用套管/衬垫类氮化硅陶 瓷产品。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本规范的引用而成为本标准的条款,凡是注日期的引用文件，仅所 注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件、其最新版本 （包括所有的修改单）适 用于本文件。 GB/T 191 包装运输图示标识 GB/T 1408.1 绝缘材料电气强度实验方法 第1部分：工频下试验 GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 GB/T 6569 精细陶瓷弯曲强度试验方法 GB/T 9531.6-1988 E类陶瓷件技术条件 GB/T 16534 精细陶瓷室温硬度试验方法 GB/T 16535 精细陶线膨胀系数试验方法 顶杆法 GB/T 23806 精细陶瓷断裂韧性实验方法 单边预裂纹梁 （SEPB）法 GB/T 25995 精细陶瓷密度和显气孔率试验方法 JC/T 2349-2015 多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体 其他客户技术文件 3 术语和定义 3.1 组批 正常生产情况下同一同一产品、同一炉烧结的陶瓷产品为1批。 3.2 工作面与非工作面 3.2.1 工作面 2 Q/XN CP.02017-2019 多晶硅用氮化硅陶瓷产品与电极接触、或客户要求的平面称为工作面，其他氮化硅陶瓷产