Q_XJKJY-002-2019N_PN型硅芯晶棒检验标准.pdf

Q/XJKJY 陕西西京电子科技有限公司 榆林分公司企业标准 Q/XJKJY-002-2019 N/PN型硅芯晶棒检验标准 2019-12-6发布 2019-12-10实施 陕西西京电子科技有限公司榆林分公司 批准 Q/XJKJY-002-2019 陕西西京电子科技有限公司榆林分公司 N/PN型硅芯晶棒检验标准 编号：Q/XJKJY-002-2019 版次：1 前 言 本标准是为适应我公司硅芯晶棒生产、试验、使用的实际情况而制定的。本标准的制定 能满足市场及用户对硅芯晶棒的质量要求。 本规范起草单位：陕西西京电子科技有限公司榆林分公司 本规范评审确认单位：陕西西京电子科技有限公司榆林分公司 本规范主要起草人：王琳 本规范批准人：李育君 1 陕西西京电子科技有限公司榆林分公司 N/PN型硅芯晶棒检验标准 编号：Q/XJKJY-002-2019 版次：1 硅芯晶棒 1 目的 为硅芯晶棒的检测提供技术要求、测试方法和检测规范。 2 适用范围 适用于我公司直拉法生产的硅芯晶棒的检测。 3 技术要求 序号 检验项目 检验标准 抽检方式 检验工具 1 色泽 无色斑、变色和氧化 全检 目测 2 组织状态 无破损、无裂痕、无扭曲 全检 目测 3 杂质 无肉眼可见杂质、污染 全检 目测 单侧崩边 4 ≤2 全检 目测 /(mm) 断面平行度 5 ≤1 全检 直角尺、塞规 /(mm) 晶棒长度 2700±1 2800±1 2900±1 6 全检 钢板尺、卷尺 / （mm） 3000±1 3200±1 PN-30型导电 7 导电类型 N/PN 全检 类型鉴别仪 电阻率 （头部中心）≥0.5 RTS-4型 8