Q_320584TZR008-2019RDS600型双机器人三维激光刻蚀系统 技术条件.pdf

ICS J59 备案号： Q/TZR 苏州中瑞智创三维科技股份有限公司企业标准 Q/320584 TZR008—2019 RDS600型双机器人三维激光刻蚀系统 技术条件 2019-11-05发布 2019-11-15实施 苏州中瑞智创三维科技股份有限公司 发 布 前  言 本标准按照GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第 1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。 本标准自发布之日起有效期限三年，到期复审。 本标准为首次发布。 本标准由苏州中瑞智创科技股份有限公司提出。 本标准由苏州中瑞智创科技股份有限公司归口。 本标准起草单位：苏州中瑞智创科技股份有限公司 本标准主要起草人：周宏志、邢占文、梁银生、邵喜明 I