Q_370681AAYXC 006-2019TAC纳米超晶格涂层.pdf

Q/AAYXC 龙口市奥锕亚新材料科技有限公司企业标准 Q/370681AAYXC006-2019 TAC纳米超晶格涂层企业标准 2019-12-22发布 2019-12-25实施 龙口市奥锕亚新材料科技有限公司企业标准发布 Q/370681AAYXC006-2019 前言 涂层的附着性参考 VDI3198-1992 标准； 此标准对涂层性能检测方法和标准进行明确的规定； 本标准由龙口市奥锕亚新材料科技有限公司提出； 本标准由公司负责起草； 本标准主要起草人：陈甲林； Q/370681AAYXC006-2019 TAC纳米超晶格涂层企业标准 1. 范围 本标准规定了TAC涂层厚度、附着性、硬度、粗糙度、摩擦系数、膜厚的检测方法； 本标准规定了用洛氏硬度计检测 TAC 等涂层等附着力的检测方法； 本标准给定了用划痕仪检测 TAC 等涂层与工件表面结合力的检测方法； 本标准给定了涂层粗糙度的检测方法； 本标准给定了涂层摩擦系数的检测方法； 本标准适应于任何方法值得的薄膜涂层，如化学气相沉积 （CVD）、物理气相沉积 （PVD）、等 PECVD 离子体辅助法学沉积 （ ）； 2.定义 这个标准定义 TAC 涂层作为功能层，TAC是一种具有优异物理和化学性能的过渡金属碳化物， 具有高硬度、高熔点、高抗氧化性以及较好的耐腐蚀性能和热冲击性能，可作为抗烧蚀涂层。 3. 材料及表面处理 选耐高温测试片作为样件。 3.1试片表面处理 镀膜前需要对试片表面进行研磨处理，处理后试片表面不能出现凹坑、表面粗糙度必须达到 Ra50nm。 3.2 清洗 试片需要清洗干净，确保试片表面无任何残留。 3.3 TAC涂层性能 3.3.1涂层硬度 涂层的硬度采用纳米硬度仪或维氏硬度计测试涂层的硬度，涂层纳米硬度大于 20GPa 或者是维氏 硬度高在3500-4000Hv。 3.3.2 涂层厚度 采用球磨仪测量，测量用球满足 GB/T308 的要求，研磨液中磨料颗粒大小为 3μm 5 / 25mm ，磨料材料为金刚砂，研磨液供给速度为 滴分钟，小球直径为 φ ，电机转速为 200rpm/min，实验载荷为 0.4-0.45N。 涂层厚度按照图示方式进行计算可得。膜厚约在2.5μm。磨痕的内圆和外圆轮廓需要很清晰，进 而可以降低测量误差。 2. 3. 图 涂层厚度测量示意图 图 涂层磨痕示意图 3.3.3 涂层粗糙度 HR-150 0.8mm 5 3 采用 粗糙度仪，取样长度 ，取样个数为 ，测量 次取平均值。 3.3.4 摩擦系数 采用TRB 型号的摩擦磨损仪测量涂层与轴承钢球的摩擦系数，加载载荷为 5N，转动半径为为 16mm，转速为 16.7cm/s，测量长度为 1000m. 3.3.4 附着力测试 -- （1）压痕测试 试片上测试 参考VDI3198-1992 标准，采用洛氏硬度计定性测量涂层的附着性，压头为錐角 120°的金刚石 588/1471N