基于工艺的设计规范总结.pdf

基于 LTCC 工艺的设计规范总结 1.材料特性 特性 相关参数值 1.相对介电常数 Er : 5.9 ±0.2@(1~100GH) 2 .介质损耗角正切: 0.002 @ (1~100GHz) 3.电阻率: 12 10 at 100DVC Ω 5.层数: 最多 30 层 6 .每层层厚: 0.1mm 7.导体厚度: 0.01mm 8.孔径: 最小直径 0.1mm 可选 6mil 8mil 10mil 12mil 9.密度: Density

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