星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜研究.pptVIP

湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究 报告人：熊礼威 第十三届全国等离子体科学技术会议 四川 成都 2007年8月 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 武汉工程大学 等离子体化学与新材料重点实验室 报告主要内容 研究背景 星形微波等离子体装置介绍 类金刚石薄膜的沉积研究 结论 后期工作计划 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 研究背景 类金刚石薄膜（DLC）具有一系列接近于金刚石薄膜的优异性能，如很高的硬度、很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、较高的电阻率、优异的红外和微波频段的透过性和高的光学折射率等，在机械、电子、光学、声学、计算机等很多领域具有较好的应用前景。 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 研究背景 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 目前制备类金刚石薄膜的方法主要有电化学法、物理气相沉积法和化学气相沉积法三大类。其中电化学方法制备的类金刚石薄膜的性能较差，无法达到应用要求；工业上采用较多的是物理气相沉积法，但该方法对设备和环境的要求很高，设备的操作也比较复杂，因此很难实现类金刚石薄膜的批量化生产；化学气相沉积法对设备的要求不高，容易实现类金刚石薄膜的批量化生产，但目前在类金刚石薄膜的制备工艺方面还存在一些问题有待解决，尚未实现类金刚石薄膜的工业化。 研究背景 湖北省等离