传感器项目可行性实施报告.docVIP

附件2： **省软科学研究项目 可行性研究报告 项目名称：微型电容式纳米膜压力传感器产业化 申请单位： 组织单位： 编写时间： 年 月 日 **省科技厅政策法规处制 二○一一年 一、总论 项目情况 项目的主要内容 本项目将要开发的微型电容式纳米膜压力传感器是一种新型的传感器件，相比传统的电阻式传感器，它同时具有的高可靠性、高精度、高稳定性、高工作温度和耐恶劣环境的优良性能,可用于很多电阻式传感器无法工作的环境中使用（微小空间、真空中、高温等）。它是厦门大学完全具有自主知识产权的高敏感传感器件，采用MEMS先进工艺制造的传感器和CMOS集成电路工艺设计制造的测试电路以及良好的外部结构设计组成。 项目的技术水平 本项目采用先进的MEMS制造工艺，微型电容式纳米膜压力传感器是由具有腔体的硅底座和压力感受膜组成, 压力感受膜与硅底座需要通过高温键合形成密封腔体。传感器耐高温的特性取决于压力感受膜的力学特性。同时，电路测试电路将采用CMOS集成电路，能有效的消除外部电路的干扰，使产品能够达到很高的测试精度。 总体目标：预计三年的总投入为5000万人民币。项目验收时，完成器件的可靠性测试，并形成器件的小批量生产规模。